Das Grundkonzept der S12 wurde kompromisslos auf Präzision getrimmt. Herzstück ist ein völlig neuartiges, zum Patent angemeldetes Antriebs-/Führungssystem auf Basis hochgenau positionierbarer Linearmotoren. Die extrem steifen, hydrostatisch gelagerten Führungstische sind magnetisch vorgespannt. Die Zustellbewegung lässt sich in 10-Nanometer-Schritten programmieren.
Präzision: Zustellbewegungen in 10-Nanometer Schritten dank hydrostatischen Führungen und Linearmotortechnik.
Dynamik: Zustellgeschwindigkeit 30 m/s, Achsbeschleunigungen bis 3 m/s.
Flexibilität: Diverse Abrichtkonzepte, Innenschleifspindel auf separatem Kreuzschlitten, automatisches Teilehandling.